半導体装置向けクリーン仕様ベローズポンプ

DTEポンプは、DTポンプをベースに高性能化したエア駆動ベローズポンプで、高純度薬液の移送に対応します。半導体、太陽光発電、LED、FPDなどの電子産業プロセスに最適で、小流量・高純度用途に幅広く対応します。 優れた流体設計により高効率運転と省エネルギー化を実現し、日本製同等品比で約20％の出力向上を達成。さらに10,000時間の長期実証試験において出力低下率5％未満を維持し、高い信頼性と耐久性を備えています。短納期・低コスト・高品質を両立した次世代ハイエンドモデルです。

本製品は、高純度薬液の移送に特化したテフロン製のエア駆動ベローズポンプ

です。酸やアルカリ（水酸化物）。純水などの薬液移送に適しており、半導体装置用

太陽光発電、LED、FPD（フラットパネルディスプレイ）などの電子産業向けプロセスで幅広く採用されています。

接液部には日本製の特殊PTFE-TFM材質を採用し、優れた柔軟性と非多孔質構造により高い耐薬品性と清浄性を実現。クラス100クリーンルーム環境での検査・組立・製造を行い、高純度かつ汚染リスクを低減した電子材料グレードのポンプを提供します。

さらに、高耐摩耗セラミック部品を採用することで、熱膨張・収縮の影響を抑え、安定した運転性能を実現。独自の「エアバルブ分離構造」および「ドライ運転対応構造」に関する特許を取得しており、高い信頼性と耐久性を備えています。

最高使用温度200℃に対応し、ベローズ部は２億回の使用に耐える高耐久設計。

高純度薬液搬送に最適なポンプです（CE認証取得済み）

既に多くの半導体・電子機械メーカーへ納入実績があります。